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电源介绍
INTRODUCTION OF POWER SUPPLY
ST系列直流脉冲电源主要应用于直流溅射镀膜领域,以其优良的控制算法,能够提供稳定可靠的持续输出,并对功率、电压、电流、频率和脉冲时间等提供精确的输出控制。
电源特点
CHARACTERISTICS OF POWER SUPPLY
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    采用模块化设计,按照行业标准设计。
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    高稳态功率输出,输出稳定性 ±0.2%。
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    电弧主动抑制技术。
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    极快的电弧响应。
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    极低的电弧携带能量,小于0.3mJ/KW 的能量携带。
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    反向电压集成。
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    更宽范围的参数调节功能。
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    丰富的通讯接口。
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    控制指令的快速响应。
技术参数
TECHNICAL PARAMETER
型号ST-2010ST-2010LST-2020L
输入参数

输入电压
400V - 480V±10%(3 + PE,No Neutral)
输入频率
50/ 60Hz(45-65)Hz
最大输入电流
3x25A3x25A3x50A
输出参数

额定输出功率10kW10kW20kW
电压范围
0-1000v0-500v
电流范围0-25A0-40A0-80A
脉冲频率0, 2-100kHz
脉冲时间
5-495 us
反向电压范围0-100V
工作模式
功率、电压、电流
输出精度
±0.5%
重复精度
±0.2%
接口参数

LCD支持
RS232支持
PROFIBUS/RS485
支持
Ether CAT支持
模拟量输入
支持
ARC检测
Imax/U&l恢复时间1-100ms
Imax电流范围10-130%In
U&/电压范围0-90%Un
U&l/电流范围5-100%In
DU恢复时间10-1000us
DU电压范围10-90%Un
ARC能量<0.3 mJ/kw
ARC处理时向<100ns
点火
主动点火电压1250V625V
被动点火电压1000v500V
环境
工作环境温度+5°C~+45°C
存储环温度-25°C~+55°C
相对湿度5-85%无冷凝
气压86-106kPa
其他

防护等级
IP40
外形尺寸(WxHxL)480mm x 178mm x 730mm480mm x 356mm x 730mm
重量60kg75kg75kg
效率
>90%
冷却方式水冷
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